Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00399796
Soumis le : lundi 29 juin 2009-10:47:45
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:38
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00399796 , version 1
Citer
G. Kokkoris, V. Constantoudis, G. Patsis, E. Gogolides, E. Pargon, et al.. Line-edge roughness transfer during plasma etching: modeling approaches and comparison with experimental results. SPIE, advanced lithography, 2009, san jose, United States. ⟨hal-00399796⟩
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