Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Cédric Ayela  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00399522

Soumis le : vendredi 26 juin 2009-16:08:02

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

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Dates et versions

hal-00399522 , version 1 (26-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00399522 , version 1

Citer

Cédric Ayela, Eric Cattan, Caroline Soyer, Christian Bergaud, Martine Pugnière, et al.. Determination of the d31 piezoelectric coefficient of PZT thin film using dedicated microelectromechanical systems. MRS fall meeting, Nov 2005, Boston, United States. ⟨hal-00399522⟩

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