Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00398872
Soumis le : jeudi 25 juin 2009-09:31:22
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00398872 , version 1
Citer
C. Licitra, Maxime Darnon, T. Chevolleau, S. Cetre, H. Fontaine, et al.. Evaluation of ellipsometric porosimetry for in-line characterization of low- dielectrics. ISCE, 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, 2007, stockolm, Sweden. ⟨hal-00398872⟩
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