Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00398865
Soumis le : jeudi 25 juin 2009-09:22:30
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:50:35
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00398865 , version 1
Citer
R. Ramos, G. Cunge, B. Pelissier, O. R. Joubert, T. Chevolleau. Restoring the chamber walls surfaces of plasma reactors exposed to repeated fluorine-based plasma cleans. 16th International Colloquium on Plasma processes (CIP), 2007, toulouse, France. ⟨hal-00398865⟩
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