Measured velocity distribution of sputtered Al atoms perpendicularly and parallel to the target - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Physics D: Applied Physics Année : 2008

Measured velocity distribution of sputtered Al atoms perpendicularly and parallel to the target

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00397105

Soumis le : vendredi 19 juin 2009-15:25:57

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:00:24

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00397105 , version 1 (19-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397105 , version 1

Citer

R. Ramos, G. Cunge, M. Touzeau, N. Sadeghi. Measured velocity distribution of sputtered Al atoms perpendicularly and parallel to the target. Journal of Physics D: Applied Physics, 2008, pp.41 (15), (2008), 152003. ⟨hal-00397105⟩

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