Undulation of sub-100 nm porous dielectric structures: A mechanical analysis
Domaines
| Origine | Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte |
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| Licence |
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https://hal.science/hal-00397092
Soumis le : lundi 15 janvier 2024-10:58:06
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-19:46:16