Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Wideband frequency in situ characterization of ultra thin ZrO2 for integrated MIM capacitors

T.T. Vo
  • Fonction : Auteur
C. Bermond
T. Lacrevaz
B. Flechet
A. Farcy
  • Fonction : Auteur
M. Gros-Jean
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00397026 , version 1 (19-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00397026 , version 1

Citer

T. Bertaud, T.T. Vo, C. Bermond, T. Lacrevaz, C. Vallee, et al.. Wideband frequency in situ characterization of ultra thin ZrO2 for integrated MIM capacitors. AMC 2008, 2008, san diego, United States. ⟨hal-00397026⟩
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