Wideband frequency in situ characterization of ultra thin ZrO2 for integrated MIM capacitors
T. Bertaud
(1)
,
T.T. Vo
,
C. Bermond
,
T. Lacrevaz
,
C. Vallee
(1)
,
Y. Morand
(2)
,
B. Flechet
,
A. Farcy
,
M. Gros-Jean
,
S. Blonkowski
(2)
T.T. Vo
- Fonction : Auteur
C. Bermond
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171824
- IdHAL : cedric-bermond
- ORCID : 0000-0003-1472-9081
- IdRef : 204250285
T. Lacrevaz
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- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
B. Flechet
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- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373
A. Farcy
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M. Gros-Jean
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