Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00397005
Soumis le : vendredi 19 juin 2009-12:45:30
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00397005 , version 1
Citer
J. Tallal, D. Peyrade, K. Berton, M. Gordon. 8-in. replication of sub-30 nm gaps by nanoimprint and mechanical characterization by AFM. 51 st EIPBN Electron, Ions, Photon Beam Technology and Nanofabrication, 2005, ORLANDO, United States. ⟨hal-00397005⟩
121
Consultations
0
Téléchargements