Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2006

Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars

J. Shi
  • Fonction : Auteur
C. Peroz
  • Fonction : Auteur
D. Peyrade
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
J. Salari
  • Fonction : Auteur
M. Belotti
  • Fonction : Auteur
Wh Huang
  • Fonction : Auteur
Y. Chen
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00394746

Soumis le : vendredi 12 juin 2009-13:58:08

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:26

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394746 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394746 , version 1

Citer

J. Shi, C. Peroz, D. Peyrade, J. Salari, M. Belotti, et al.. Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars. Microelectronic Engineering, 2006, pp.83 (2006) 1664-1668. ⟨hal-00394746⟩

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