Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2006
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https://hal.science/hal-00394746
Soumis le : vendredi 12 juin 2009-13:58:08
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-19:03:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00394746 , version 1
Citer
J. Shi, C. Peroz, D. Peyrade, J. Salari, M. Belotti, et al.. Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars. Microelectronic Engineering, 2006, pp.83 (2006) 1664-1668. ⟨hal-00394746⟩
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