Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2006

Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars

J. Shi
  • Fonction : Auteur
C. Peroz
  • Fonction : Auteur
D. Peyrade
J. Salari
  • Fonction : Auteur
M. Belotti
  • Fonction : Auteur
Wh Huang
  • Fonction : Auteur
Y. Chen
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394746 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394746 , version 1

Citer

J. Shi, C. Peroz, D. Peyrade, J. Salari, M. Belotti, et al.. Tri-layer soft UV imprint lithography and fabrication of high density pillars. Microelectronic Engineering, 2006, pp.83 (2006) 1664-1668. ⟨hal-00394746⟩
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