Reverse UV nanoimprint lithography technique for 3D nanofabrication - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Reverse UV nanoimprint lithography technique for 3D nanofabrication

N. Kehagias
  • Fonction : Auteur
G. Chansin
  • Fonction : Auteur
V. Reboud
  • Fonction : Auteur
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Schuster
  • Fonction : Auteur
M. Kubenz
  • Fonction : Auteur
F. Reuther
  • Fonction : Auteur
G. Gruetzner
  • Fonction : Auteur
C.M. Sotomayor
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00394556

Soumis le : vendredi 12 juin 2009-08:37:41

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:53:52

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394556 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394556 , version 1

Citer

N. Kehagias, G. Chansin, V. Reboud, M. Zelsmann, C. Schuster, et al.. Reverse UV nanoimprint lithography technique for 3D nanofabrication. Micro- and Nano-Engineering conference- MNE 2006, Sep 2006, barcelone, Spain. ⟨hal-00394556⟩

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