Carboxylic acids as oxygen supplying agents for ALD of high k thin films - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2008

Carboxylic acids as oxygen supplying agents for ALD of high k thin films

E. Rauwel
  • Fonction : Auteur
F. Ducroquet
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
CV
P. Rauwel
  • Fonction : Auteur
M.-G. Willinger
  • Fonction : Auteur
I. Matko
  • Fonction : Auteur
N. Pinna
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00392103

Soumis le : vendredi 5 juin 2009-15:06:36

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:56:32

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00392103 , version 1 (05-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00392103 , version 1

Citer

E. Rauwel, F. Ducroquet, P. Rauwel, M.-G. Willinger, I. Matko, et al.. Carboxylic acids as oxygen supplying agents for ALD of high k thin films. 8th International Conference on Atomic Layer Deposition,, Jun 2008, Bruges, Belgium. 2008. ⟨hal-00392103⟩

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