Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00384585
Soumis le : vendredi 15 mai 2009-14:56:49
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00384585 , version 1
Citer
J. Shi, C. Peroz, G. Velve-Casquillas, A. Pepin, M. Belotti, et al.. Fabrication and surface functionalization of high aspect ratio plastic nanostructures. Microelectronic Engineering, 2007, 84 (5), p.1724-1728, May 2007. ⟨hal-00384585⟩
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