Patents
Year : 2003
Collection IEMN : Connect in order to contact the contributor
https://hal.science/hal-00372464
Submitted on : Wednesday, April 1, 2009-11:33:41 AM
Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:51 PM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-00372464 , version 1
Cite
A. Kaiser, D. Galayko, D. Collard. Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant. N° de brevet: FR2832270 (A1). 2003. ⟨hal-00372464⟩
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