Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant - Archive ouverte HAL Access content directly
Patents Year : 2003

Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant

D. Galayko
D. Collard
  • Function : Author
No file

Dates and versions

hal-00372464 , version 1 (01-04-2009)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00372464 , version 1

Cite

A. Kaiser, D. Galayko, D. Collard. Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant. N° de brevet: FR2832270 (A1). 2003. ⟨hal-00372464⟩
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