Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2003

Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant

A. Kaiser
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
D. Galayko
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00372464

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-11:33:41

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372464 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372464 , version 1

Citer

A. Kaiser, D. Galayko, D. Collard. Procédé de réglage de l'écartement de deux éléments mécaniques d'une structure micromécanique sensiblement plane et résonateur électromécanique correspondant. N° de brevet: FR2832270 (A1). 2003. ⟨hal-00372464⟩

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