Procédé de réalisation de structure de microsystème à entrefers latéraux et structure de microsystème correspondante - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2003

Procédé de réalisation de structure de microsystème à entrefers latéraux et structure de microsystème correspondante

D. Collard
  • Fonction : Auteur
A. Kaiser
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
E. Quevy
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot

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https://hal.science/hal-00372459

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-11:26:30

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372459 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372459 , version 1

Citer

D. Collard, A. Kaiser, E. Quevy, L. Buchaillot. Procédé de réalisation de structure de microsystème à entrefers latéraux et structure de microsystème correspondante. N° de brevet: FR2839964 (A1). 2003. ⟨hal-00372459⟩

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