Procédé de polarisation d'un micro-circuit électromécanique à une valeur de charge électrique constante - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2004

Procédé de polarisation d'un micro-circuit électromécanique à une valeur de charge électrique constante

A. Kaiser
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
D. Collard
  • Fonction : Auteur
D. Galayko
CV

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https://hal.science/hal-00372441

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-11:03:41

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372441 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372441 , version 1

Citer

A. Kaiser, D. Collard, D. Galayko. Procédé de polarisation d'un micro-circuit électromécanique à une valeur de charge électrique constante. N° de brevet: FR2855681 (A1). 2004. ⟨hal-00372441⟩

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