Système micro-électromécanique comprenant une partie déformable et un détecteur de contrainte - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2007

Système micro-électromécanique comprenant une partie déformable et un détecteur de contrainte

A. Rowe
C. Renner
  • Fonction : Auteur
S. Arscott
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00372348

Soumis le : mercredi 1 avril 2009-08:38:28

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00372348 , version 1 (01-04-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00372348 , version 1

Citer

A. Rowe, C. Renner, S. Arscott. Système micro-électromécanique comprenant une partie déformable et un détecteur de contrainte. N° de brevet: FR2894953 (A1). 2007. ⟨hal-00372348⟩

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