Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applications

G. Fleury
C. Malhaire
C. Populaire
  • Fonction : Auteur
M. Verdier
P. Charvet
  • Fonction : Auteur
J.P. Polizzi
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00369948 , version 1 (23-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00369948 , version 1

Citer

G. Fleury, C. Malhaire, C. Populaire, M. Verdier, Arnaud Devos, et al.. Mechanical cross-characterization of sputtered Inconel thin films for MEMS applications. Proceedings of the 2006 European Material Research Society Spring Meeting, 2006, Nice, France. ⟨hal-00369948⟩
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