AlN thin film for bulk acoustic wave resonator
Ji Fan
(1)
,
Matthieu Chatras
(1)
,
Aurelian Crunteanu
(1)
,
A. Bassam
,
Corinne Champeaux
(2)
,
Alain Catherinot
(2)
,
Dominique Cros
(1)
Matthieu Chatras
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6234
- IdHAL : matthieu-chatras
- IdRef : 083957979
Aurelian Crunteanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6267
- IdHAL : aurelian-crunteanu
- ORCID : 0000-0001-8648-5368
- IdRef : 070472173
A. Bassam
- Fonction : Auteur
Corinne Champeaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 965
- IdHAL : corinnechampeaux
- ORCID : 0000-0003-0953-2591
- IdRef : 078012260
Dominique Cros
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6259
- IdHAL : dominique-cros
- ORCID : 0009-0008-3228-0365
- IdRef : 061749109