Propriétés piézoélectriques de couches minces de nitrure d'aluminium déposées par ablation laser - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Propriétés piézoélectriques de couches minces de nitrure d'aluminium déposées par ablation laser

Martine Segear  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00365254

Soumis le : lundi 2 mars 2009-17:14:20

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00365254 , version 1 (02-03-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00365254 , version 1

Citer

C. Cibert, Corinne Champeaux, Olivier Masson, Gilles Trolliard, Florent Tetard, et al.. Propriétés piézoélectriques de couches minces de nitrure d'aluminium déposées par ablation laser. Xèmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Apr 2008, Limoges, France. ⟨hal-00365254⟩

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