Propriétés piézoélectriques de couches minces de nitrure d'aluminium déposées par ablation laser
C. Cibert
(1)
,
Corinne Champeaux
(2)
,
Olivier Masson
(3)
,
Gilles Trolliard
(3)
,
Florent Tetard
,
Alain Catherinot
(2)
Corinne Champeaux
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Olivier Masson
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Gilles Trolliard
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Florent Tetard
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