Propriétés piézoélectriques de couches minces de nitrure d'aluminium déposées par ablation laser - Archive ouverte HAL Access content directly
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Dates and versions

hal-00365254 , version 1 (02-03-2009)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00365254 , version 1

Cite

C. Cibert, Corinne Champeaux, Olivier Masson, Gilles Trolliard, Florent Tetard, et al.. Propriétés piézoélectriques de couches minces de nitrure d'aluminium déposées par ablation laser. Xèmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Apr 2008, Limoges, France. ⟨hal-00365254⟩
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