Effect of the nature of both top and bottom electrodes on the dielectric and ferroelectric properties of PZT thin film capacitors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Effect of the nature of both top and bottom electrodes on the dielectric and ferroelectric properties of PZT thin film capacitors

N. Sama
R. Bouregba
  • Fonction : Auteur
Caroline Soyer
Denis Remiens
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00362064

Soumis le : mardi 17 février 2009-10:51:19

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00362064 , version 1 (17-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00362064 , version 1

Citer

N. Sama, R. Bouregba, Caroline Soyer, Denis Remiens. Effect of the nature of both top and bottom electrodes on the dielectric and ferroelectric properties of PZT thin film capacitors. 20th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, ISIF 2008, 2008, Singapore, Singapore. ⟨hal-00362064⟩

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