Modelling of radiofrequency MEMS bulk acoustic wave resonators with Legendre polynomial method - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Modelling of radiofrequency MEMS bulk acoustic wave resonators with Legendre polynomial method

A. Raherison
  • Fonction : Auteur
F.E. Ratolojanahary
  • Fonction : Auteur
Jean-Etienne Lefebvre
L. Elmaimouni
  • Fonction : Auteur
Tadeusz Gryba
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00362059

Soumis le : mardi 17 février 2009-10:51:18

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00362059 , version 1 (17-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00362059 , version 1

Citer

A. Raherison, F.E. Ratolojanahary, Jean-Etienne Lefebvre, L. Elmaimouni, Tadeusz Gryba. Modelling of radiofrequency MEMS bulk acoustic wave resonators with Legendre polynomial method. Second ASA-EAA Joint Conference, ACOUSTICS'08, 2008, Paris, France. ⟨hal-00362059⟩

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