Elaboration de nanofils de silicium sur pointes de tungstène pour caractérisation en sonde atomique et microscopie champ proche - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Elaboration de nanofils de silicium sur pointes de tungstène pour caractérisation en sonde atomique et microscopie champ proche

T. Xu
  • Fonction : Auteur
B. Grandidier
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
J.P. Nys
  • Fonction : Auteur
D. Stiévenard
E. Cadel
R. Larde
CV
P. Pareige

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https://hal.science/hal-00361980

Soumis le : mardi 17 février 2009-09:08:44

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00361980 , version 1 (17-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00361980 , version 1

Citer

T. Xu, B. Grandidier, J.P. Nys, D. Stiévenard, E. Cadel, et al.. Elaboration de nanofils de silicium sur pointes de tungstène pour caractérisation en sonde atomique et microscopie champ proche. 1ères Journées Nanosciences Nord-Ouest, J2NO 2008, 2008, Poitiers, France. ⟨hal-00361980⟩

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