Communication Orale : "Des couches minces PECVD a-SiCxNy:H aux membranes permsélectives aux petites molécules gazeuses (H2 et He)" - Archive ouverte HAL
Autre Publication Scientifique Année : 2008

Communication Orale : "Des couches minces PECVD a-SiCxNy:H aux membranes permsélectives aux petites molécules gazeuses (H2 et He)"

V. Rouessac
A. Julbe
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00361836 , version 1 (16-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00361836 , version 1

Citer

W. Kafrouni, V. Rouessac, A. Julbe, J. Durand. Communication Orale : "Des couches minces PECVD a-SiCxNy:H aux membranes permsélectives aux petites molécules gazeuses (H2 et He)". 2008. ⟨hal-00361836⟩
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