Temperature measurement of sub-micrometric ICs by Scanning Thermal Microscopy - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Temperature measurement of sub-micrometric ICs by Scanning Thermal Microscopy

S. Gomes
  • Fonction : Auteur
Centre de Thermique de Lyon
P.O Chapuis
  • Fonction : Auteur
F. Nepveu
  • Fonction : Auteur
N. Trannoy
  • Fonction : Auteur
S. Volz
  • Fonction : Auteur
B. Charlot
  • Fonction : Auteur
B. Cretin
  • Fonction : Auteur
S. Dilhaire
G. Tessier
P. Vairac
  • Fonction : Auteur

Domaines

Thermique [physics.class-ph] Thermique [physics.class-ph]

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https://hal.science/hal-00361225

Soumis le : vendredi 13 février 2009-14:23:36

Dernière modification le : mercredi 29 mai 2024-09:48:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00361225 , version 1 (13-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00361225 , version 1

Citer

S. Gomes, P.O Chapuis, F. Nepveu, N. Trannoy, S. Volz, et al.. Temperature measurement of sub-micrometric ICs by Scanning Thermal Microscopy. 11 th International Workshop on Thermal Investigations of ICs and Systems - THERMINIC, Sep 2005, Belgirate, Italy. pp.300-303. ⟨hal-00361225⟩

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