Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 2008
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https://hal.science/hal-00360331
Soumis le : mercredi 11 février 2009-08:14:25
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
R. Herdier, M. Detalle, D. Jenkins, Caroline Soyer, Denis Remiens. Piezoelectric thin films for MEMS applications - A comparative study of PZT, 0.7PMN-0.3PT and 0.9PMN-0.1PT thin films grown on Si by r.f. magnetron sputtering. Sensors and Actuators A: Physical , 2008, 148, pp.122-128. ⟨10.1016/j.sna.2008.07.021⟩. ⟨hal-00360331⟩
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