Miroirs de Bragg et microcavités en silicium poreux : effet de l'oxydation
Résumé
Des structures verticales que sont des miroirs de Bragg et des microcavités ont été élaborées en silicium poreux et en silice poreuse. La silice poreuse est obtenue en oxydant le silicium poreux. Une étude préliminaire a permis d'étudier l'indice de réfraction des couches en silicium poreux avant et après oxydation, la vitesse de formation de ces couches et l'évolution de la variation de l'épaisseur après oxydation en fonction de la porosité initiale des couches. L'objectif de ce travail est d'anticiper l'évolution de la réponse spectrale de ces dispositifs due à l'oxydation.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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