Miroirs de Bragg et microcavités en silicium poreux : effet de l'oxydation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Miroirs de Bragg et microcavités en silicium poreux : effet de l'oxydation

Résumé

Des structures verticales que sont des miroirs de Bragg et des microcavités ont été élaborées en silicium poreux et en silice poreuse. La silice poreuse est obtenue en oxydant le silicium poreux. Une étude préliminaire a permis d'étudier l'indice de réfraction des couches en silicium poreux avant et après oxydation, la vitesse de formation de ces couches et l'évolution de la variation de l'épaisseur après oxydation en fonction de la porosité initiale des couches. L'objectif de ce travail est d'anticiper l'évolution de la réponse spectrale de ces dispositifs due à l'oxydation.
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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-00358598 , version 1 (03-02-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00358598 , version 1

Citer

Joël Charrier, Yann G. Boucher, Michel Gadonna. Miroirs de Bragg et microcavités en silicium poreux : effet de l'oxydation. 27èmes Journées Nationales d'Optique Guidée (JNOG 2008), Oct 2008, Lannion, France. pp.52-54. ⟨hal-00358598⟩
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