Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2008
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00357357
Soumis le : vendredi 30 janvier 2009-10:38:42
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
T. Xu, J.P. Nys, B. Grandidier, D. Stievenard, Yannick Coffinier, et al.. Growth of Si nanowires on micropillars for the study of their dopant distribution by atom probe tomography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2008, 26, pp.1960-1963. ⟨10.1116/1.3021371⟩. ⟨hal-00357357⟩
Collections
153
Consultations
0
Téléchargements