Growth of Si nanowires on micropillars for the study of their dopant distribution by atom probe tomography
T. Xu
,
J.P. Nys
,
B. Grandidier
,
D. Stievenard
(1)
,
Yannick Coffinier
,
Rabah Boukherroub
,
R. Larde
,
E. Cadel
,
P. Pareige
T. Xu
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J.P. Nys
- Fonction : Auteur
B. Grandidier
- Fonction : Auteur
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D. Stievenard
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Yannick Coffinier
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Rabah Boukherroub
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E. Cadel
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P. Pareige
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