Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 2008

Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules

C. Yamahata
  • Fonction : Auteur
D. Collard
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
T. Takekawa
  • Fonction : Auteur
M. Kumemura
  • Fonction : Auteur
G. Hashiguchi
  • Fonction : Auteur
H. Fujita
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00357278

Soumis le : vendredi 30 janvier 2009-08:24:17

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00357278 , version 1 (30-01-2009)

Identifiants

Citer

C. Yamahata, D. Collard, Bernard Legrand, T. Takekawa, M. Kumemura, et al.. Silicon nanotweezers with subnanometer resolution for the micromanipulation of biomolecules. Journal of Microelectromechanical Systems, 2008, 17, pp.623-631. ⟨10.1109/JMEMS.2008.922080⟩. ⟨hal-00357278⟩

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