Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/SiO2/Si structure - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Science and Engineering: B Année : 2008

Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/SiO2/Si structure

A. Laszcz
  • Fonction : Auteur
J. Ratajczak
  • Fonction : Auteur
A. Czerwinski
  • Fonction : Auteur
J. Katcki
  • Fonction : Auteur
V. Srot
  • Fonction : Auteur
F. Phillipp
  • Fonction : Auteur
P.A. van Aken
  • Fonction : Auteur
N. Breil
  • Fonction : Auteur
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-00356977 , version 1 (29-01-2009)

Identifiants

Citer

A. Laszcz, J. Ratajczak, A. Czerwinski, J. Katcki, V. Srot, et al.. Transmission electron microscopy study of the platinum germanide formation process in the Ge/Pt/SiO2/Si structure. Materials Science and Engineering: B, 2008, 154-155, pp.175-178. ⟨10.1016/j.mseb.2008.10.002⟩. ⟨hal-00356977⟩
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