Characterization of ultrathin SOI film and application to short channel MOSFETs - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Nanotechnology Année : 2008

Characterization of ultrathin SOI film and application to short channel MOSFETs

Xing Tang
  • Fonction : Auteur
N. Reckinger
  • Fonction : Auteur
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
D. Flandre
  • Fonction : Auteur
J.P. Raskin
  • Fonction : Auteur
B. Nysten
  • Fonction : Auteur
A.M. Jonas
  • Fonction : Auteur
V. Bayot
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-00356972 , version 1 (29-01-2009)

Identifiants

Citer

Xing Tang, N. Reckinger, G. Larrieu, Emmanuel Dubois, D. Flandre, et al.. Characterization of ultrathin SOI film and application to short channel MOSFETs. Nanotechnology, 2008, 19, pp.165703-1-7. ⟨10.1088/0957-4484/19/16/165703⟩. ⟨hal-00356972⟩
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