Article Dans Une Revue
Nanotechnology
Année : 2008
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00356972
Soumis le : jeudi 29 janvier 2009-10:27:53
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00356972 , version 1
- DOI : 10.1088/0957-4484/19/16/165703
Citer
Xing Tang, N. Reckinger, G. Larrieu, Emmanuel Dubois, D. Flandre, et al.. Characterization of ultrathin SOI film and application to short channel MOSFETs. Nanotechnology, 2008, 19, pp.165703-1-7. ⟨10.1088/0957-4484/19/16/165703⟩. ⟨hal-00356972⟩
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