Experimental characterization of the overburden effect - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2008

Experimental characterization of the overburden effect

V. Carreau
  • Fonction : Auteur
S. Maitrejean
  • Fonction : Auteur
D. Bouchu
  • Fonction : Auteur
A. Toffoli
  • Fonction : Auteur
G. Passemard
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00354630 , version 1 (20-01-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00354630 , version 1

Citer

V. Carreau, S. Maitrejean, Y. Brechet, M. Verdier, D. Bouchu, et al.. Experimental characterization of the overburden effect. Microelectronic Engineering, 2008, 85, pp.2133-2136. ⟨hal-00354630⟩

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