Experimental characterization of the overburden effect - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2008

Experimental characterization of the overburden effect

V. Carreau
  • Fonction : Auteur
S. Maitrejean
  • Fonction : Auteur
Y. Brechet
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
M. Verdier
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
D. Bouchu
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A. Toffoli
  • Fonction : Auteur
G. Passemard
  • Fonction : Auteur

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Matériaux Génie des procédés

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https://hal.science/hal-00354630

Soumis le : mardi 20 janvier 2009-14:41:49

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00354630 , version 1 (20-01-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00354630 , version 1

Citer

V. Carreau, S. Maitrejean, Y. Brechet, M. Verdier, D. Bouchu, et al.. Experimental characterization of the overburden effect. Microelectronic Engineering, 2008, 85, pp.2133-2136. ⟨hal-00354630⟩

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