Article Dans Une Revue
The Film Layers
Année : 2008
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00354264
Soumis le : lundi 19 janvier 2009-13:59:40
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00354264 , version 1
Citer
V. Jousseaume, G. Rolland, D. Babonneau, J.P Simon. Influence of the polymeric porogen on porosity and on mechanical properties of spin coated Ultra Low K dielectrics. The Film Layers, 2008, in press. ⟨hal-00354264⟩
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