Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Nicole Fréty : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00352402
Soumis le : mardi 13 janvier 2009-09:58:03
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00352402 , version 1
Citer
J. Nazon, Marie-Hélène Berger, J. Sarradin, Jean-Claude Tedenac, Nicole Fréty. Thermal stability of TaN-based thin layers for Cu metallization. 11th International Conference on Plasma Surface Engineering, PSE 2008, Sep 2008, Garmisch-Partenkirchen, Germany. pp.200. ⟨hal-00352402⟩
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