Thermal stability of Ta-based diffusion barriers - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00351962 , version 1 (12-01-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00351962 , version 1

Citer

J. Nazon, B. Fraisse, M.H. Berger, Jean-Claude Tedenac, Nicole Fréty. Thermal stability of Ta-based diffusion barriers. TMS 2009 (The Minerals, Metals & Materials Society), 138th Annual Meeting, Feb 2009, San Francisco, United States. ⟨hal-00351962⟩
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