Silicon nanoparticles formation in annealed SiO/SiO2 multilayers - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Silicon nanoparticles formation in annealed SiO/SiO2 multilayers

I. Kovacevic
  • Fonction : Auteur
P. Dubcek
  • Fonction : Auteur
S. Duguay
Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
CV
H. Zorc
  • Fonction : Auteur
N. Radic
  • Fonction : Auteur
B. Pivac
  • Fonction : Auteur
A. Slaoui
  • Fonction : Auteur
Institut d'Electronique du Solide et des Systèmes
S. Bernstorff
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00350341

Soumis le : mardi 6 janvier 2009-14:40:06

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:51

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00350341 , version 1 (06-01-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00350341 , version 1

Citer

I. Kovacevic, P. Dubcek, S. Duguay, H. Zorc, N. Radic, et al.. Silicon nanoparticles formation in annealed SiO/SiO2 multilayers. European Material Research Society (E-MRS) Spring Conference, Symposium on Silicon Nanocrystals for Electronics and Sensing Applications, 2006, Nice, France. ⟨hal-00350341⟩

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