Article Dans Une Revue metals materials and Processes Année : 2008

Mechanical cycling for electrical performances of materials used in MEMS : Application to gold micro-switches.

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Dates et versions

hal-00349190 , version 1 (24-12-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00349190 , version 1

Citer

C. Seguineau, A. Broue, J. Dhennin, J.M. Desmarres, Arnaud Pothier, et al.. Mechanical cycling for electrical performances of materials used in MEMS : Application to gold micro-switches.. metals materials and Processes, 2008, 20 (2), pp.1-24. ⟨hal-00349190⟩
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