Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Colette Turck : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00349082
Soumis le : mardi 23 décembre 2008-12:47:03
Dernière modification le : lundi 22 avril 2024-18:40:41
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00349082 , version 1
Citer
Georges Hadziioannou. The influence of chemical composition on Line Edge Roughness values in 193nm resists. J3N, Oct 2008, Grenoble, France. ⟨hal-00349082⟩
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