Internal stresses and stability of the tetragonal phase in zirconia thin layers deposited by OMCVD - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2008

Internal stresses and stability of the tetragonal phase in zirconia thin layers deposited by OMCVD

B. Benali
  • Fonction : Auteur
A.M. Huntz
  • Fonction : Auteur
M. Andrieux
  • Fonction : Auteur
S. Poissonet
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00345485 , version 1 (09-12-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00345485 , version 1

Citer

B. Benali, A.M. Huntz, M. Andrieux, M. Ignat, S. Poissonet. Internal stresses and stability of the tetragonal phase in zirconia thin layers deposited by OMCVD. Applied Surface Science, 2008, 254, pp.5807-5813. ⟨hal-00345485⟩

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