Internal stresses and stability of the tetragonal phase in zirconia thin layers deposited by OMCVD - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2008

Internal stresses and stability of the tetragonal phase in zirconia thin layers deposited by OMCVD

B. Benali
  • Fonction : Auteur
A.M. Huntz
  • Fonction : Auteur
M. Andrieux
  • Fonction : Auteur
M. Ignat
  • Fonction : Auteur
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
S. Poissonet
  • Fonction : Auteur

Domaines

Matériaux Génie des procédés

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https://hal.science/hal-00345485

Soumis le : mardi 9 décembre 2008-11:16:21

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

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Dates et versions

hal-00345485 , version 1 (09-12-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00345485 , version 1

Citer

B. Benali, A.M. Huntz, M. Andrieux, M. Ignat, S. Poissonet. Internal stresses and stability of the tetragonal phase in zirconia thin layers deposited by OMCVD. Applied Surface Science, 2008, 254, pp.5807-5813. ⟨hal-00345485⟩

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