Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00337372
Soumis le : jeudi 6 novembre 2008-17:26:17
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00337372 , version 1
Citer
A. Claudel, E. Blanquet, D. Chaussende, M. Audier, D. Pique, et al.. Growth of thick AlN layers by High Temperature CVD. Internatinal Conference on Silicon Carbide and Related Materials, ICSCRM2007, 2007, Otsu, Japan. pp.1269-1272. ⟨hal-00337372⟩
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