PROCESS FOR DEPOSITING A THIN FILM OF A METAL ALLOY ON A SUBSTRATE, AND A METAL ALLOY IN THIN FILM FORM - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2008

PROCESS FOR DEPOSITING A THIN FILM OF A METAL ALLOY ON A SUBSTRATE, AND A METAL ALLOY IN THIN FILM FORM

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Plasmas

Pascal Brault  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00336141

Soumis le : dimanche 2 novembre 2008-00:14:39

Dernière modification le : mercredi 7 août 2024-15:27:38

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00336141 , version 1 (02-11-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00336141 , version 1

Citer

Pascale Gillon, A. Thomann, Pascal Brault. PROCESS FOR DEPOSITING A THIN FILM OF A METAL ALLOY ON A SUBSTRATE, AND A METAL ALLOY IN THIN FILM FORM. France, Patent n° : WO2008028981. 2008. ⟨hal-00336141⟩

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