Article Dans Une Revue
Optics Express
Année : 2008
Salah Bourennane : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00325028
Soumis le : jeudi 25 septembre 2008-23:47:48
Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:06:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00325028 , version 1
Citer
Rodolphe Sabatier, Caroline Fossati, Salah Bourennane, Antonio Di Giacomo. Fast approximation of transfer cross coefficient for optical proximity correction. Optics Express, 2008, Vol. 16 (Issue 19), pp. 15249-15253. ⟨hal-00325028⟩
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