Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science & Technology A
Année : 2002
Daniel Gasquet : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00324019
Soumis le : mardi 23 septembre 2008-17:42:56
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:51
Citer
Alain Giani, Frédérick Mailly, Frédérique Pascal-Delannoy, Alain Foucaran, André Boyer. Investigation of Pt/Ti bilayer on SiNx/Si substrates for thermal sensor applications. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2002, 20 (1), pp.112-116. ⟨10.1116/1.1424272⟩. ⟨hal-00324019⟩
115
Consultations
0
Téléchargements