Hermeticity tests on organically sealed micro-packages using FTIR spectroscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00322451 , version 1 (17-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00322451 , version 1

Citer

David Veyrie, Jean-Luc Roux, F. Pressecq, Angelique Tetelin, Claude Pellet. Hermeticity tests on organically sealed micro-packages using FTIR spectroscopy. Reliability, Packaging, Testing and Characterization of MEMS/MOEMS Conference, Jan 2006, San Jose, United States. pp. 61110R.1-61110R.9. ⟨hal-00322451⟩
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