Toward hybrid MEMS based on free-standing thick-films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00322354 , version 1 (17-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00322354 , version 1

Citer

Claude Lucat, Christophe Castille, Patrick Ginet, Hélène Debéda, Francis Ménil. Toward hybrid MEMS based on free-standing thick-films. Trans-Pyrénées Meeting on Micro and Nano Systems, 2007, Zaragoza, Spain. ⟨hal-00322354⟩
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