Couches épaisses sérigraphiées partiellement libérées pour des applications MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00322352 , version 1 (17-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00322352 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet, Christophe Castille, Hélène Debéda, Francis Ménil, et al.. Couches épaisses sérigraphiées partiellement libérées pour des applications MEMS. Journées Micro et Nanotechnologies, 2007, Paris, France. ⟨hal-00322352⟩
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