Article Dans Une Revue
Microelectronics Reliability
Année : 2008
Isabelle Dufour : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00322332
Soumis le : mercredi 17 septembre 2008-14:04:29
Dernière modification le : lundi 8 juillet 2024-17:45:54
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00322332 , version 1
Citer
Claude Lucat, Patrick Ginet, Christophe Castille, Hélène Debéda, Francis Ménil. Microsystems elements based on free-standing thick-films made with a new sacrificial layer process. Microelectronics Reliability, 2008, vol. 48 (6), pp. 872-875. ⟨hal-00322332⟩
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