Microsystems elements based on free-standing thick-films made with a new sacrificial layer process - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronics Reliability Année : 2008
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00322332 , version 1 (17-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00322332 , version 1

Citer

Claude Lucat, Patrick Ginet, Christophe Castille, Hélène Debéda, Francis Ménil. Microsystems elements based on free-standing thick-films made with a new sacrificial layer process. Microelectronics Reliability, 2008, vol. 48 (6), pp. 872-875. ⟨hal-00322332⟩
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