"Thermal characterisations for reliability assessment of Solidly Mounted Resonators"
B. Ivira
(1)
,
R.Y. Fillit
(2, 3)
,
F. Ndagijimana
(1, 4)
,
Ph. Benech
(1)
,
G. Parat
(5)
,
P. Ancey
(5, 6)
1
IMEP -
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
2 SMS-ENSMSE - Centre Science des Matériaux et des Structures
3 MTT-ENSMSE - Département Microstructures et Traitements Thermomécaniques
4 LEAME - Laboratoire d'électronique, automatique et mesures électriques
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
2 SMS-ENSMSE - Centre Science des Matériaux et des Structures
3 MTT-ENSMSE - Département Microstructures et Traitements Thermomécaniques
4 LEAME - Laboratoire d'électronique, automatique et mesures électriques
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]